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精密微电子行业净化工程
来源: | 作者:jmhykj | 发布时间: 1231天前 | 1393 次浏览 | 分享到:
精密微电子行业净化工程

  净化车间目前已广泛应用于半导体、精密电子元件、液晶制造、光学仪器制造、线路板制造和手机、计算机等精密微电子行业,净化工程的设计过程中,应加强对微电子行业净化工程设计方案分析了解,根据该工程项目的具体情况,并结合其具体的生产工艺、生产流程等要求确定其需要的洁净度、温湿度设计出一个能满足甲方生产使用要求、工程造价合理、经济节能实用的方案。


  精密微电子净化工程一般包括:

  1)洁净生产区

  2)洁净辅助间(包括人员净化用房、物料净化用室和部分生活用室等)风淋室


  3)管理区(包括办公、值班、管理和休息等)

  4)设备区(包括净化空调系统应用、电气用房、高纯水和高纯气用房、冷热设备用房)


  精密微电子净化工程净化参数:

  ●换气次数:100000级≥15次;10000级≥20次;1000≥30次。压差:主车间对相邻房间≥5Pa

  ●平均风速:10级、100级0.3-0.5m/s;温度 冬季>16℃;夏季<26℃;波动±2℃。

  ●温度:45-65%;GMP粉剂车间湿度在50%左右为宜;电子车间湿度略高以免产生静电。

  ●噪声:≤65dB(A);新风补充量是总送风量的10%-30%;照度300LX。


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